1.腔室尺寸：，60600-20r/min可调；基片可加热至±℃（选配）

      3.真空系统：机械泵TRP-L/s(Hipace80,67L/s)；4.极限真空：-55.真空抽速：大气～8×10^{Pa≤36.真空测量：全量程复合真空计，测量范围：5}～-5；

3组水冷式电阻蒸发源，           8.蒸发电源：直流蒸发电源1台，～3组蒸发源切换使用；

Inficon SQM-160单水冷探头，控制精度10           PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；

1          11.设备外形：6060801个   1≤2KW220V，单相三线制（一火一零一地）；

 13.冷却循环系统：水压～1025℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；