1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti不锈钢材质，氩弧焊接；

    2.样品台尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋转：0-20r/min可调；基片可加热至3001℃（选配）

    3.真空系统：机械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b电磁挡板阀；

    4.极限真空：8.0×10^-5Pa；

    5.真空抽速：大气 ≤～10^-5Pa；

        7.蒸发源：3组间可切换，源间有防污板；

    8.蒸发电源：直流蒸发电源1台，～CF35法兰接口；

12.设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；

13.冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；