1.真空腔室：246*228不锈钢材质，氩弧焊接；

     2.基片台：尺寸100mm，60-120mm高度可调，可旋转及加热300度；

     3.真空系统：机械泵+进口分子泵

     4.极限真空：-55.真空抽速：大气～8×10^{Pa≤36.真空测量：全量程复合真空计，测量范围：5}～-5；

7.磁控靶：2只（含靶挡板），兼容直流电源和射频电源；

8.溅射电源：500W直流溅射电源和300W全自动匹配射频电源；

9.质量流量计：进口0sccm50sccm 控制器各一套；

Inficon SQM-160单水冷探头，精度1Å（选配）；

PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能；  

L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口；

  1≤2KW220V，单相三线制（一火一零一地）；

 14.冷却循环系统：水压～1025℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；