1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti不锈钢材质，氩弧焊接；

    2.样品台尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可调，旋转：0-20r/min可调；可加热至300℃；

    3.真空系统：机械泵（3L/S）+进口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b电磁挡板阀，DN63mm 限流阀；

    4.极限真空：8.0×10^-5Pa；

    5.真空抽速：大气 ≤～10^-5Pa；

        7.磁控靶：Φ2英寸2只（含靶挡板），兼容直流电源和射频电源；

    8.溅射电源：1台500W直流溅射电源和1台300W全自动匹配射频电源；

    9.质量流量计：10sccmInficon SQM-160单水冷探头，精度，220V，单相三线制（一火一零一地）；

    14.冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；