手动高真空插板阀是一种用于超高真空系统中的重要部件,主要用于接通或切断气流,确保系统的稳定运行。其工作原理是通过手轮以螺杆传动,经传动杆推(拉)动连杆机构,驱动阀板沿轴向运动,从而实现阀门的开启或关闭。
性能特点
高真空密封性能:手动高真空插板阀采用精密的密封设计,如金属O型圈密封或金属面密封,能够实现的泄漏率,通常可以达到10^-9 Pa·L/s甚至更低,确保真空系统的稳定性和可靠性。
快速开闭:手动操作的插板阀结构简单,操作方便快捷,能够快速实现真空系统的开闭,提高工作效率。部分高端产品还配备了微调机构,允许用户精细控制阀门的开启程度。
耐腐蚀性:许多手动高真空插板阀采用耐腐蚀的材料和表面处理工艺,能够有效抵抗各种腐蚀性气体和介质的侵蚀,延长阀门的使用寿命。
高可靠性:由于其结构简单,内部部件少,故障率低,设计经过严格的测试和验证,能够在恶劣环境下稳定运行。
多种规格和材质:不同厂家和型号的手动高真空插板阀提供多种规格和材质选择,以满足不同真空系统的需求。
应用领域
手动高真空插板阀广泛应用于各种需要超高真空环境的领域,主要包括:
半导体制造:在半导体芯片的制造过程中,需要严格控制真空环境以防止污染和提高产品质量。手动高真空插板阀常用于晶圆制造设备的真空腔体中,控制气体和材料的输送。
科学研究:如粒子物理、材料科学、表面物理等实验需要在超高真空环境下进行。手动高真空插板阀能够有效隔离真空腔体,保证实验的精度和可靠性。
航天航空:在航天器的制造和维护中,手动高真空插板阀用于确保各种设备的真空环境,保证设备的正常运行和安全性。