用途

清洗、腐蚀、研磨等化学液集中供应

操作方式

手动/自动

适用领域

半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等

适用工艺

盐酸、氨水、双氧水、硫酸、硝酸、研磨液等；

主体材质

全不锈钢框架，外包进口PP、PVC板

化学液桶

单桶或双桶，20L、50L、200L或其他规格

供液泵

每种化学液配一台或两台进口隔膜泵

过滤器

每种化学液配一套或两套过滤器

安全防护

安全门、双套管路、化学品柜及阀箱漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级权限密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

自动配比（体积或比重）

流量控制及检测

PH在线检测

循环管路

自动冲洗