用途

花篮、片盒、部件清洗

操作方式

手动/半自动/自动

适用领域

半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等

适用工艺

酸洗、超声（兆声）清洗、QDR清洗、烘干等

清洗方式

槽式清洗

供给

手动/自动

主体材质

PP   PVC

槽体材质

PVDF、PTFE、NPP、 不锈钢等

温控精度

±1℃

安全防护

自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、电导率检测、恒温系统、百级FFU、自动灭火等