用途

石英炉管、石英舟腐蚀清洗

操作方式

PLC控制，手动/半自动/自动

适用领域

半导体、光伏

适用工艺

对石英炉管、石英舟腐蚀清洗

清洗方式

液浸泡、水槽清洗、高压喷射、氮气鼓泡

石英管转动

自动

石英管上下料

自动/手动

可清洗尺寸

2吋--12吋石英炉管、石英舟

液供给

手动自动

主体材质

PP、PVC

槽体材质

NPP、PVDF

安全防护

自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、石英管转动、储箱