用途

石英钟罩、石英坩埚及其它零部件清洗

操作方式

手动/半自动/自动

适用领域

半导体、光伏

适用工艺

洗、水洗、吹干

清洗方式

液喷淋、高压喷射、氮气吹干

石英件转动

自动

石英件上下料

自动/手动

液供给

手动或自动

主体材质

PP、PVC

槽体材质

NPP、PVDF

安全防护

自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、石英件转动、纯水增压、储箱

用途

石英钟罩、石英坩埚及其它零部件清洗

操作方式

手动/半自动/自动

适用领域

半导体、光伏

适用工艺

洗、水洗、吹干

清洗方式

液喷淋、高压喷射、氮气吹干

石英件转动

自动

石英件上下料

自动/手动

液供给

手动或自动

主体材质

PP、PVC

槽体材质

NPP、PVDF

安全防护

自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、石英件转动、纯水增压、储箱