设备名称 有机清洗机
用途 半导体、LED有机清洗
操作方式 手动/半自动/自动
适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等
适用工艺 有机清洗 、IPA 、LIFT-OFF、去胶、超声(兆声)清洗、QDR清洗等
清洗方式 槽式清洗
可清洗尺寸 2吋--12吋
液供给 手动/自动
主体材质 不锈钢
槽体材质 不锈钢、NPP、石英
温控精度 ±1℃
安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统
模块化设计
满足客户多种工艺及产能的定制化要求
可编程菜单,方便用户操作,直观
实时流程显示,可控性强
多级密码,方便管理,安全可靠
自动保存生产数据
可实现远程控制
可实现功能 液管理系统(自动供液、自动补液、循环过滤)、机械抛动、恒温系统、自动灭火等