真空炉体系统

炉体有效容积（标准）

（直径*高）（m）

0.6*0.6

0.7*1.0

0.9*1.2

1.2*1.4

1.4*1.6

1.5*2.0

3.0*2.5

3.5*3.0

至大加工工件

表面积(m²)

2.2

3

4.5

6.5

10

14

30

45

至大装炉量（kg）

400

700

1200

2000

3200

5000

25000

30000

常用工作温度（℃）

550±50

至高工作温度（℃）

≥650

极限真空（Pa）

≤6.7

温度均匀性（℃）

≤±5

压升率（pa/h）

≤5

控温精度（℃）

≤±1

压力控制精度（pa）

≤±1

渗氮层深偏差（mm）

0.1

备注：根据用户需要对炉体的直径和高度可根据工件的尺寸进行设计