研究级经典型椭偏仪

产品型号 UVISEL Plus

测量对象 薄膜材料、表面和界面

产地类别 进口

应用领域 光学镀膜，半导体，材料科学

产品简介

UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。

集成了全新的FastAcq™快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100 nm），校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq™技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq™专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。

UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。

产品特点

一、可在3分钟以内实现高分辨的样品测试

UVISEL Plus集成了全新的FastAcq™快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100 nm），校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq™技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq™专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。

二、信号采集过程无移动部件

相位调制技术的独有特点为高频调制 50 kHz，信号采集过程无移动部件：

●测试全范围的椭偏角，Ψ(0-90)，Δ(0-360)

●从FUV到NIR具有优良的信噪比

●数据采集速度快，高达50毫秒/点，是动力学研究和在线测量的理想选择

三、更高的灵敏度和精度

相比于采用 旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪，UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面，还可以表征50µm的厚膜。

在测试有背反射的透明样品时，测试简单、准确，无需刮花背面。

四、最新的 FastAcq™技术

基于最.新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq™技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq™专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得佳的测试结果。

技术参数