布鲁克 探针式轮廓仪/台阶仪

Dektak XT

      布鲁克 DektakXT 探针式轮廓仪（台阶仪）采用了革命性的台式设计，结合行业领先的技术和设计，实现了高性能、高易用性以及高性价比的统一，从研发到质量控制方面都有更好的过程控制。

      设备可实现 4Å （0.4nm） 的优异重复性，扫描速度提高40%，为微电子、半导体、触摸屏、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量技术提供支持。

设备特点：

-    无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4Å

     革新的设计、全面的配件以及优化的操作和分析软件使DektakXT获得了更强劲的性能和更卓越的台阶高度重现性。

-    Single-arch（单拱门式）设计，提供突破性的扫描稳定性

Single-arch（单拱门式）的结构设计使 DektakXT 更坚固，从而将环境噪音的影响降至更低。

Dektak XT的扫描探针可实现同时大垂直范围和低力扫描。

-    升级的“智能电子器件”，提高测试精度和稳定性

DektakXT 升级的"智能电子器件"，采用先进处理器，降低噪声水平，使其成为能够测量 <10nm 台阶高度的更强大的系统。

-    优化的硬件配置，使数据采集时间缩短40%

利用独特的直接驱动扫描样品台，将测量时间加快 40%，同时保持行业领先的性能。

DektakXT 的 64 位并行处理 Vision64 在更短的时间里完成并处理大型 3D 数据文件。

-    64-bit、Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍

Vision64 是布鲁克的 64 位并行处理操作和分析软件，能够更快地加载 3D 形貌数据，并更快地应用滤波器和多区域数据库分析。

-     直观的Vision64用户操作界面，使用更简单

Vision64 软件提供直观、简化的用户可视化界面，将智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。

DektakXT 的 Vision64 显著简化并加快了操作和数据分析

-     针尖自动校准系统，让用户轻松更换针尖探针

DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针过程中的潜在风险。

-    广泛的探针型号

布鲁克能够提供广泛的探针尺寸和形状，几乎满足各种应用需求。

DektakXT 具有更快、更简单的换针流程。

-    单传感器设计

提供单一平面上低作用力和宽扫描范围。

-    确保高通量测试

DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式，以卓越的可重复性验证整个晶圆表面薄膜的厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。

DektakXT 对复合电路板进行3D扫描

应用案例：

·     薄膜测试 - 确保高产   

在半导体制造中严密监测沉积和蚀刻比率均匀性、薄膜应力，以及触摸屏面板上ITO薄膜厚度检测,能节省大量时间和金钱。薄膜的不均匀或太大的应力会导致低产及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地设置和运行自动多点测试程序来检验晶片薄膜的厚度，达到纳米级别。DektakXT 所具有的强大的重现性能够提供给工程师准确的薄膜厚度和应力测试，来调节蚀刻和沉积以提供收益。

·     表面粗糙度检测 - 确保性能

DektakXT适合很多产业(包括汽车、航空和医疗设备 )的精密机器零部件的表面粗糙度常规鉴定。例如，矫形植入物的背面的羟磷灰石( hydroxyapatite ) 涂层粗糙度会影响植入后的粘结力和功效。利用DektakXT进行表面粗糙度的快速分析能判断晶质生产是否达到预期，植入物能否通过产品要求。使用Vision64数据库的pass/fail标准，质量管理部门能轻松判断植入物是重做或者确保其质量。

·     太阳能栅线分析 - 降低制造成本

在太阳能市场，Dektak非常适合用于测量单晶硅和多晶硅太阳能面板上导电银栅线的临界尺寸。银线的高度、宽度和连续性与太阳能电池的能量引导紧密相关。生产的理想状态是恰如其分地使用银，以具有更好的导电性，而不浪费昂贵的银。DektakXT通过软件分析来实现，报告银栅线的临界尺寸，以确定出现导电性所需分量。Vision64的数据分析方法和自动功能有助于该验证过程的自动化。

·     微流体技术 - 检测设计和性能

Dektak能在大垂直范围(高达1mm )测量感光材料达到埃级重现性的探针轮廓仪。MEMS和微流体技术行业的研究者能使用DektakXT来进行鉴定测试，确保零件符合规格。低作用力测量功能NLite+轻触感光材料来测量垂直台阶和粗糙度。