气浮板是所有需要非接触运输和平面脆弱物体精确定位的过程的解决方案。
用于太阳能电池板生产的结构过程。在此过程中,玻璃基板悬浮在距离承载板几个μm的一定距离上。
这是通过压力喷嘴和真空喷嘴的精确布置来实现的。精确定位的要求是不能通过简单地通过压力喷嘴创建 一个气垫来满足的。只有正负压的相互作用才能使玻璃基板能够精确地定位,使它们能够在固定激光器的 狭窄焦点内移动。在移动基板上的指定位置内的平面 度的重复性非常高。浮动单元的主体是由黑色阳极氧 化铝制成的。
并排放置多个浮动单元是可能的。偏差尺寸可根据要 求提供。边缘处的气隙可以由一个单独的气源单独控制。它被设置为45µm,而PV的功能被保留。

行业痛点
摩擦损耗严重:传统导轨依赖机械接触,长期使用易磨损,导致精度下降、维护成本高。
动态性能不足:高速运动时惯性大、加速响应慢,难以适配高频次启停场景。
精度天花板低:微米级误差无法满足光刻、生物检测等纳米级工艺要求。
能耗成本攀升:气动设备耗气量高,长期运行能源浪费显著。
产品类别及优势
(1)小孔标准气浮板核心优势:高性价比,稳定性强应用场景:通用机械臂定位小孔标准气浮板是中研赢创气浮板系列中的基础款产品,它具备气浮板的基本性能,能够满足大多数常规工业应用的需求。
(2)小孔精密真空预压气浮板核心优势:真空吸附增强负载能力,抗振动干扰应用场景:高精度测量仪器、振动环境检测设备小孔精密真空预压气浮板在标准气浮板的基础上进行了升级,引入了精密真空预压技术。通过在气浮板表面施加均匀的真空压力,能够更有效地吸附工件,提高气浮系统的稳定性和定位精度。
(3)多孔石墨精密气浮板核心优势:洁净室兼容,气膜均匀性优异应用场景:LCD面板检测、晶圆搬运多孔石墨精密气浮板采用了先进的多孔石墨材料,这种材料具有良好的自润滑性、耐高温性和化学稳定性。多孔石墨的特殊结构能够使气浮板在运行过程中形成更加均匀的气膜,进一步提高气浮效果和定位精度。
(4)多孔石墨超精密气浮板核心优势:纳米级运动控制,超高刚性应用场景:光刻机、高端光学检测平台对于那些对精度要求近乎苛刻的应用场景,中研赢创推出了多孔石墨超精密气浮板。这款气浮板在多孔石墨精密气浮板的基础上,进一步优化了制造工艺和结构设计,将定位精度提升到了更高的水平。
(5)多孔陶瓷超精密气浮板核心优势:耐高温、耐腐蚀,极端环境性能稳定应用场景:航天部件加工、化学精密合成反应台多孔陶瓷超精密气浮板是中研赢创气浮板家族中的创新产品,采用了新型的多孔陶瓷材料。多孔陶瓷具有高强度、低密度、良好的耐磨性和耐腐蚀性等优点,使得气浮板在具备超精密定位能力的同时,还拥有出色的机械性能和使用寿命。































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