HTM系列测量显微镜满足不同种类的测量范围检测，测量数据准确，操作简单，更多详情如下：

●操作便捷

集中化显微镜操作，调焦手轮、速度控制、遥控开关均可实现单手盲操作，实现大试样高精度快速测量。

●电动Z轴调焦

使用电动调焦装置可以大幅提高操作性，并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。

●稳固的机械机构

充分考虑工业现场环境的结构设计，内置减震机构，保证了高水平的重复性精度。

●高度灵活

模块化的硬件、功能强大的软件方案，自由搭配成像光路、载物台、FA聚焦导航、旋转工作台、晶圆转盘等。

●高密度拼接

使用高密度拼接功能、多幅图像可以拼接扩展为一幅大视野全景图像

◆电动Z轴移动机构通过使用控制器简化了的垂直移动操作。

◆新款测量显微镜可配备一个新型辅助对焦机构，以提供更清晰和更的对焦。相比以前型号，高精度Z轴测量更简便。

◆得益于各种电动控制以及人体工程学设计，大大改善了易操作性。即便使用大尺寸的载物台，操作起来也十分得心应手。

◆使用数码相机和 M- Inspect 测量软件进行数字图像拍摄可通过的自动边缘检测进行快速测量。

◆X、Y和Z轴的较小单位可以在 0.1 μm和0.5μm之间切换，此外，还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。

HTM系列测量显微镜配置参数