产品说明
·6自由度振动响应
·10HZ以上的振动由被动减振器消除
·通过前馈控制、反馈控制和Stage算法,可以将运动带来的振动抑制到最小
·重复精度非常高
·将所有型号高度统一为191mm
垂直方向 Vertica


空气弹簧减振器、气浮板、气浮移载台、气浮辊、减振垫、气浮...
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主动减振器
详细信息 产品说明 ·6自由度振动响应 ·10HZ以上的振动由被动减振器消除 ·通过前馈控制、反馈控制和Stage算法,可以将运动带来的振动抑制到最小 ·重复精度非常高 ·将所有型号高度统一为191mm 垂直方向 Vertica
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