空气弹簧减振器、气浮板、气浮移载台、气浮辊、减振垫、气浮...
电机与500 p/r编码器的一般环境。配备500脉冲/转TTL信号输出编码器。
电机的位置和速度的控制精度为士0.18°(乘以4倍)。它是一种使用滚珠螺钉转移设备的理想电机。