气浮转台配备用于位置控制的高精度旋转编码器，可以通过关闭进气来夹紧转子。
核心组件：
电机：作为动力源，驱动转台旋转，通常采用无框力矩电机。
气浮轴承系统：通过高压气体在转台底部形成空气垫，实现无接触支撑，减少摩擦。
光栅及读头：检测并反馈回转角度，是实现高精度定位精度、重复定位精度、静态抖动的基础。
回转台面或Chuck：实现极小端面跳动&径向跳动的支撑安装面，其平面度&平行度会直接影响最终的跳动值。
技术参数图
应用领域
■ 半导体工业：
晶圆切割、晶圆检测、晶圆研磨/减薄设备；
■ 光学制造与检测：
工业CT、激光加工、光纤对准、超精密车床、五轴加工中心、激光反射镜等元件的精密加工与角度标定；
■ 精密测量：
光学轮廓仪、圆柱度仪、结合多轴运动台实现三维空间内的高分辨率位移检测；
■ 科研实验：
如量子计算设备中的超低温环境运动控制，或材料力学性能测试；
■ 航空航天：
航空发动机叶片加工与检测、卫星姿态控制测试、惯性导航设备测试及校准等；
■ 医疗：
CT、MRI医疗影像设备中，气浮转台用于承载和旋转扫描部件。
冀公网安备13010402003046号