气浮转台

气浮转台配备用于位置控制的高精度旋转编码器，可以通过关闭进气来夹紧转子。

核心组件：

• 电机：作为动力源，驱动转台旋转，通常采用无框力矩电机。

• 气浮轴承系统：通过高压气体在转台底部形成空气垫，实现无接触支撑，减少摩擦。

• 光栅及读头：检测并反馈回转角度，是实现高精度定位精度、重复定位精度、静态抖动的基础。

• 回转台面或Chuck：实现极小端面跳动&径向跳动的支撑安装面，其平面度&平行度会直接影响最终的跳动值。

技术参数图

应用领域

■ 半导体工业：

   晶圆切割、晶圆检测、晶圆研磨/减薄设备；

■ 光学制造与检测：

   工业CT、激光加工、光纤对准、超精密车床、五轴加工中心、激光反射镜等元件的精密加工与角度标定；

■ 精密测量：

   光学轮廓仪、圆柱度仪、结合多轴运动台实现三维空间内的高分辨率位移检测；

■ 科研实验：

   如量子计算设备中的超低温环境运动控制，或材料力学性能测试；

■ 航空航天：

   航空发动机叶片加工与检测、卫星姿态控制测试、惯性导航设备测试及校准等；

■ 医疗：

   CT、MRI医疗影像设备中，气浮转台用于承载和旋转扫描部件。