转速可达5000/分钟，最边缘处跳动小于0.3微米;气膜刚度大，客户可自行集成电机和编码器;可用于晶圆减薄、抛光，既可以作为载物台又可以作为加工主轴。
手动气浮转台
空气弹簧减振器、气浮板、气浮移载台、气浮辊、减振垫、气浮...
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手动气浮转台
详细信息 转速可达5000/分钟，最边缘处跳动小于0.3微米;气膜刚度大，客户可自行集成电机和编码器;可用于晶圆减薄、抛光，既可以作为载物台又可以作为加工主轴。
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