紧凑的机身集成了6自由度的主动除振机构，可提供以往的被动型无法实现的振动环境。这款机器可以最大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及高分解能。
应用：
扫描探针显微镜、共聚焦激光显微镜、干涉仪系统、三维形状测定器及其他的精密测定精密加工机器。
6 自由度主动控制
可以随时监控搭载盘的振动，通过内置的驱动器施加反向位的力，通过这种方式实现振动控制。实现 3 维（6 自由度）的控制。
自动主动调整 & 自动水平调整
主动控制所不可或缺的增益调整采用了明立精机独有的控制系统，通过这种方式可以得到自动优化 。
冀公网安备13010402003046号