电子工业洁净室检测方案

检测仪器清单

1、风量或风速测试，应符合下列规定：

1 对于单向流洁净室，应采用截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，并应取离高效过滤器 300mm 垂直于气流的截面作为测试平面。应将测试平面分成相等的栅格，每个栅格尺寸应为 600mm×600mm 或末端空气过滤器尺寸，测点应在栅格中心或不应少于 3 点。每一点的测试时间不应少于 10s。应记录平均值、最大值和最小值，并应以算术平均值作为平均风速。

2 对于非单向流洁净室，每一点的测试时间不应少于 10s。

3 在每个末端空气过滤器风罩法等测量送风风速确定送风量，每个测试位置的测点数不应少于 3 点。

2 静压差测试，应符合下列规定：

1 静压差的测定应在所有的门关闭时进行。

2 仪器宜采用各种型式的微压计，仪表灵敏度应小于 1.0Pa。

3 洁净厂房有多个洁净室（区）时，应从最里面的房间与相邻房间的压差测试开始，并应按顺序向外进行检测。

4、每个房间取一个点测试

3. 洁净度的检测，应符合下列规定：

1 应使用采样量大于 1l/min 光学粒子计数器，应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。

2 最少采样点应按下式计算：

NL=√A式中  ——最少采样点；

( A ) ——洁净室或被控洁净区的面积（m²）。

采样点应均匀分布于洁净室（区）的整个面积内，并应位于工作区的高度。

3 每一采样点的每次采样量应按下式确定：

VS=[20/Cn,m]Í100

式中  Vs ——每个采样点的每次采样量，以L 表示，当Vs很大时，可使用顺序采样法。每个采样点的最小采样时间为 1min，采样量应至少为 2l；

Cn,m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值（p/m³）；

20 ——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数（颗）。

各级洁净室单个采样点采样量计算结果

1. 百级洁净室（如 1 车间、2/3 实验室）

˜≥0.5μm 粒子采样量：

·         VS=[20/Cn,m]Í100= [20/3520] Í100=0.568L

·         因计算结果（0.568L）＜2L，需按强制要求取 2L。

˜≥5μm 粒子采样量：

·         VS=[20/Cn,m]Í100= [20/29] Í100=68.97L

• 实际执行标准：百级洁净室单个采样点需按≥68.97L 采样（兼顾两种粒径），用 100L/min 计数器，采样时间1分钟

2. 千级洁净室（如 5 车间）

˜≥0.5μm 粒子采样量：

·         VS=[20/Cn,m]Í100= [20/35200] Í100=0.0568L

·         因计算结果（0.0568L）＜2L，需按强制要求取 2L。

˜≥5μm 粒子采样量：

·         VS=[20/Cn,m]Í100= [20/293] Í100=6.83L

• 实际执行标准：百级洁净室单个采样点需按≥68.97L 采样（兼顾两种粒径），用 100L/min 计数器，采样时间1分钟

3.万级洁净室

˜≥0.5μm 粒子采样量：

·         VS=[20/Cn,m]Í100= [20/352000] Í100=0.00568L

·         因计算结果（0.00568L）＜2L，需按强制要求取 2L。

˜≥5μm 粒子采样量：

·         VS=[20/Cn,m]Í100= [20/2930] Í100=0.683L

• 实际执行标准：万级洁净室单个采样点统一按≥2L 采样，使用任意流量计数器时，采样时间≥1min（如 100L/min 计数器采样测试1分钟）

4、采样次数

采样点位不得少于2个，总采样次数不少于5次

4、温度、相对湿度的检测，应符合下列规定：

1 温度、相对湿度的检测应在洁净室（区）内气流分布均匀状态测试，并应在净化空调系统试运转合格后安排进行。温度湿度检测应在净化空调系统已经运转，并应至少稳定运行后进行。

2 相对湿度检测应将洁净工作区划分为等面积网格，每格最大面积应为 100m²，应每格一个测点，但每个房间不应少于 2 个测点。

3 检测用探测器应设在洁净室（区）内的工作高度，且距洁净室（区）的吊顶、墙和地面不应少于 300mm。并应考量洁净室（区）内可能存在的热源的影响。

4 检测时间应至少 1.0h，并应至少 6min 进行 1 次（30s）读数、记录。

5.照度测试，应符合下列规定：

1 洁净室（区）内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。

2 照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室（区）照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。

3 照度检测点应设在工作高度，宜距地面 0.85m，应每 25m² 设一个测点。

6、 噪声的检测

E.6.1 一般情况下可只检测 A 声级的噪声，必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪，按中心频率 63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz 的倍频程检测，测点附近 1m 内不应有反射物。声级计的最小刻度不宜低于 0.2dB（A）。

E.6.2 测点距地面高 1.1m。面积在 15m² 以下的洁净室，可只测室中心 1 点，15m² 以上的洁净室除中心 1 点外，应再测对角 4 点，距侧墙各 1m，测点朝向各角。

E.6.3 当为混合流洁净室时，应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。

E.6.4 有条件时，宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声，室内噪声与本底噪声相差小于 10dB（A）时，应对测点值进行修正：相差（6～9）dB（A）时减 1dB（A），相差（4～5）dB（A）时减 2dB（A），相差 3dB（A）时减 3dB，相差小于 3dB（A）时测定值无效。

7、判定标准