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净化等级ISO14644-1（国际标准）ISO Class5百级洁净室约4000平米，ISO14644-1（国际标准）ISO Class7万级洁净室5300平米，高可靠不间断电源UPS、工艺冷却水、无油干燥压缩空气系统、工艺真空系统、半导体特气系统、大宗气体供应系统、大宗气体纯化系统、二次配系统、特气泄露报警监控系统、一般/酸碱/有机排气系统、废气处理系统、废水处理系统、半导体工艺所需纯水系统以及各个设备基础工程。
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