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PECVD石墨舟是等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备中的核心承载部件，主要用于太阳能电池、半导体等领域的薄膜沉积工艺。它采用高纯度石墨材料制成，具有优异的耐高温性、导电性和化学稳定性，能够在射频等离子体环境中稳定工作



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