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精密气浮运动平台是一种基于气浮轴承技术的超精密运动设备,通过空气膜悬浮实现无摩擦运动,广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域,无摩擦运动,精度高,高动态免维护性能,支持非标定制,气浮主轴及转台是一种基于气浮轴承技术的高精度旋转装置,精密气浮转台是一种基于气浮轴承技术的高精度旋转设备,定位精度最高可达1.14角秒,重复定位精度≤0.61角秒,轴径向跳动≤100nm无摩擦得高精度加工运动部件,转速高 寿命长 精度高
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