光电探针台

MPS150T 6英寸探针台针对光电探测器、功率半导体器件、射频芯片测试而设计的探针台测试解决方案。

可提供直流IV、CV、射频及高压大电流的测量能力。通过快速导轨移动8英寸行程，电磁锁定，精

密微分尺定位每个晶圆的Die位置。探针台chuck可从常温加热到200℃做功率变温测试，载片台平

面经过镀金处理，保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散，同时提供低漏电噪

声的保护<1pA及遮光电磁屏蔽环境。

应用：器件（RF、IGBT、GaN、SiC等）晶圆、碎片测试

功能：

晶圆在片测试能力: 直流、光电、功率变温参数测试

 载片台表面：镀金处理,保证最低的晶圆表面和载片台接触电阻

 安全操作：测试过程中互锁机构保证操作员人身安全

 XY移动方式：快速滑轨推动，气浮锁定，精密千分尺微

 信号连接： 信号转接套件结合Keysight B1505A 分析

测试仪器，简单快捷实现测试系统的搭建

配置

 MPS150T: 探针台主机

 显微镜： 单筒体显微镜配置镜头

 探针： 直流探针、光探针、射频探针

 电磁屏蔽： 定制电磁屏蔽箱

 探针座： 精密磁吸千分尺探针座，位移解析1um