高低温探针台

TPS200XT 高低温探针台针对功率器件、光电器件、射频器件晶圆片测试而设计的一体化在片测试解决方案。可提供直流IV、CV、光电参数、射频S参数的测量能力。结合特制的微型密闭腔体，高低温控制系统，支持晶圆的高低温测试从-60℃~300℃温度范围测试。探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散，同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。

应用:

光电芯片PD/APD、功率半导体器件SiC、射频芯片SAW等8寸内晶圆测试

功能

晶圆在片测试能力: 直流、光电、射频参数测试

高低温范围： -60℃~300℃

载片台表面：特殊镀金处理，保证最低的晶圆表面和

载片台接触电阻

安全防护措施：采用CE认证的安全光幕，通过安全光

栅传感器红外感应，自动检测物体是否进入探针台空间，

自动切断高压电源，形成互锁机构，保证操作员人身安全

上下片方式 ：载片台抽屉式结构设计，放片取片只需

轻推轻拉即可实现人工上下片

信号连接： 信号转接套件结合Keysight分析测试仪器，

简单快捷实现测试系统的搭建