详情描述
汉钟 PMF 系列是专为半导体干净制程打造的干式螺杆真空泵，主打 Load Lock、传送腔、计量、镀膜、脱气等洁净场景。采用干式无油、低振动、低颗粒设计，杜绝油气污染，满足 ISO 1-5 级洁净室要求；搭载智能节能模式，能耗显著优于同类产品，体积小巧、安装便捷，适配 8/12 英寸晶圆产线。通过 SEMI 安全认证，稳定可靠、运维成本低，是半导体洁净制程真空解决方案的优选装备。
主营：汉钟空压机 汉钟真空泵 空压机、冷干机、储气罐、空压...
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汉钟 PMF 系列是专为半导体干净制程打造的干式螺杆真空泵，主打 Load Lock、传送腔、计量、镀膜、脱气等洁净场景。采用干式无油、低振动、低颗粒设计，杜绝油气污染，满足 ISO 1-5 级洁净室要求；搭载智能节能模式，能耗显著优于同类产品，体积小巧、安装便捷，适配 8/12 英寸晶圆产线。通过 SEMI 安全认证，稳定可靠、运维成本低，是半导体洁净制程真空解决方案的优选装备。
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