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汉钟 IPH 系列是面向半导体中度严苛制程打造的干式螺杆真空泵，适配 Etch、Implant、HDP‑CVD、SACVD、MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD 等关键工艺。采用汉钟专属转子型线与短气路结构，搭配 N₂加热恒温系统，有效抑制粉尘与反应物沉积；整机节能约 25% 并支持省电模式，体积优化、即插即用，通过 SEMI 安全认证，满足 8/12 英寸晶圆产线对洁净度、稳定性与耐用性的高要求，是半导体中度严苛制程真空方案的可靠选择。
主营：汉钟空压机 汉钟真空泵 空压机、冷干机、储气罐、空压...
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汉钟 IPH 系列是面向半导体中度严苛制程打造的干式螺杆真空泵，适配 Etch、Implant、HDP‑CVD、SACVD、MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD 等关键工艺。采用汉钟专属转子型线与短气路结构，搭配 N₂加热恒温系统，有效抑制粉尘与反应物沉积；整机节能约 25% 并支持省电模式，体积优化、即插即用，通过 SEMI 安全认证，满足 8/12 英寸晶圆产线对洁净度、稳定性与耐用性的高要求，是半导体中度严苛制程真空方案的可靠选择。
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