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汉钟 IPM 系列是专为半导体中度严苛制程打造的干式真空泵，适配 Load Lock、Transfer、PVD、Etch、Ashing、Implant、Metrology 等关键工艺场景。产品采用干式无油、节能型螺杆设计，具备体积小巧、安装便捷、能耗低、稳定性强等优势，可满足 8/12 英寸晶圆产线稳定运行需求，通过 SEMI 安全基准验证，兼顾洁净度、可靠性与使用成本，是半导体中度严苛制程真空解决方案的优选装备。
主营：汉钟空压机 汉钟真空泵 空压机、冷干机、储气罐、空压...
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汉钟 IPM 系列是专为半导体中度严苛制程打造的干式真空泵，适配 Load Lock、Transfer、PVD、Etch、Ashing、Implant、Metrology 等关键工艺场景。产品采用干式无油、节能型螺杆设计，具备体积小巧、安装便捷、能耗低、稳定性强等优势，可满足 8/12 英寸晶圆产线稳定运行需求，通过 SEMI 安全基准验证，兼顾洁净度、可靠性与使用成本，是半导体中度严苛制程真空解决方案的优选装备。
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