控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

工作电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

电源功率

≤1000W

输出电压

电压≤1000V 

输出电流

电流≤500mA（电流大小可调）

真空

机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤10Pa

挡板类型

电控

真空腔室

高硼玻璃+全铝合金一体加工成形φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ75 （可安装φ70基底）

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口

水冷接口

有（配备自循环水冷机）

膜厚仪（选配）

厚度范围 0-9999A   

厚度显示分辨率 1A   

速率范围 0-999.9A   

速率显示分辨率 0.1A  

晶振频率 5-6MHz