光谱仪器、精密机械系统及真空系统的技术研发、生产、销售和...
极紫外光束传输系统是⼤连相⼲光源（DCLS）光源技术的关键系统之⼀，主要⽤于将在真空中产⽣且不能在空⽓中传输的极紫外光束⾼效地传输到实验研究⼯作站。
创谱仪器承接并完成了该光束传输系统的光学设计、 ⼯程设计 、 在线安装与集成测试⼯作，带光调试结果符合预期指标要求，已顺利交付并投⼊使⽤。
● 波⻓范围：30-180nm
● 接收⻆：4.0σ@100nm
● 样品处光斑⼤⼩：1.0×1.0 mm²
● 在线光谱诊断：10000分辨
● 尺⼨数据：总⻓30⽶，4线(8站)
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