设备名称 RCA清洗机 用途 晶圆的RCA清洗 操作方式 手动/半自动/自动 适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等 适用工艺 SC-1、SC-2、SPM、BOE、超声（兆声）清洗、QDR等； 清洗方式 槽式清洗 可清洗尺寸 2吋---12吋晶圆 主体材质 全不锈钢框架，外包进口PP、PVC板 槽体材质 石英、PVDF、PTFE、NPP等 温控精度 ±1℃ 安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统 模块化设计 满足客户多种工艺及产能的定制化要求 可编程菜单，方便用户操作，直观 实时流程显示，可控性强 多级权限密码，方便管理，安全可靠 自动保存生产数据 可实现远程控制 可实现功能 （自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU等