二手现货 日 刻蚀装置HATACHI M-308ATW

控制系统 1、PLC 自动控制； 

2、7寸触摸屏,图形用户界面； 

3、配方程序为 0~99； 

4、多级权限操作； 

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； 

6、存储工艺数据及错误信息； 

7、报警信息提示及追溯； 

8、图形化界面检测处理参数； 

9、自动、手动操作可切换； 

10、维护提示紧急停止按钮； 

11、门感应器和真空互锁； 

12、机器运行信号指示； 

13、机器运行结束提示； 

设施配置 电  力 五线，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。