在半导体晶片领域,4H碳化硅同质外延片、4H碳化硅外延片、MEMS晶片等产品的市场需求日益增长。今天为大家介绍其中一家极具实力的厂家——厦门中芯晶研半导体有限公司,它也是4H碳化硅同质外延片等晶片源头厂家***5之一。

厦门中芯晶研半导体有限公司具备坚实的生产制造与研发实力。公司目前拥有1000平方米的标准化厂房,配备了先进的晶体生长、衬底加工与外延生产设备,为高品质产品的规模化生产提供了硬件保障。在产能方面,公司具备稳定供应能力,不仅能满足规模化订单需求,也能灵活响应客户的小批量、定制化需求。
公司汇聚了一支由博士、硕士等高层次人才组成的研发团队,技术骨干在半导体晶体生长、外延工艺及设备研发领域拥有多年深厚积累,能够从材料特性、工艺优化到设备适配提供全程技术支持。依托扎实的研发实力与持续的技术创新,公司致力于碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)磷化铟(InP)、砷化镓(GaAs)、砷化铟(InAs)、锑化镓(GaSb)、锑化铟(InSb)等化合物半导体晶片的研发与生产,形成了涵盖晶体生长、衬底制备、外延生长及工艺开发的一体化能力,为客户提供高性能、高可靠性的半导体材料解决方案。

从市场规模与口碑来看,公司年出货量超55000片,产品已销往全球多个地区,建立了极具韧性的国际化供应体系。凭借过硬的产品质量及贴合应用场景的技术支持,公司在LED照明、功率器件、光电器件等领域深耕细作,树立了优质可靠的品牌形象,持续为客户创造价值并深化合作伙伴关系。
在产品质量和性能上,公司产品具有优异的结晶质量、表面平整度与电学性能。通过严格的工艺控制与全程质量监测,确保产品在耐压、导热、载流子迁移率等关键指标上满足客户应用需求。具体以4H - SiC晶片与AlN复合衬底为例:
1. N型4H - SiC
直径:4、6、8英寸;厚度:330μm~650μm(随直径变化);晶向:正晶向或偏晶向;掺杂:氮(N);电阻率:0.015–0.028 Ω·cm;微管密度:A级≤0.5 cm⁻²;TTV:6英寸A级<5μm;4英寸A级<10μm;Bow:6英寸A级<25μm;4英寸A级<25μm;Warp:6英寸A级<35μm;4英寸A级<45μm;表面粗糙度:Ra ≤ 0.2 nm。
2. 半绝缘4H - SiC
直径:4、6、8英寸;厚度:350μm~500μm(随直径变化);晶向:偏晶向;掺杂:钒(V);电阻率:>1×10⁷ Ω·cm;微管密度:A级≤1 cm⁻²;TTV:4英寸A级<10μm;Bow:4英寸A级<25μm;Warp:4英寸A级<45μm;表面粗糙度:Ra ≤ 0.2 nm。
3. P型4H - SiC
直径:2、3、4英寸;厚度:250μm~430μm(随直径变化);晶向:偏晶向;掺杂:铝(Al);电阻率:≤0.3 Ω·cm;微管密度:≤0.1 cm⁻²(A级);TTV:2英寸<5μm;Bow:2英寸<15μm;Warp:2英寸<25μm;表面粗糙度:Ra ≤ 0.5 nm。
此外,公司在技术研发与知识产权方面取得了一定成果。2022年,获得“一种用于1550nm波长激光器的半导体外延晶片”专利。
























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