广东芯微精密半导体设备有限公司 — 专注半导体电镀与清洗技术,提供6-12英寸晶圆电镀及RDL垂直电镀设备完整工艺解决方案。
任风举 15017476758

广东芯微精密半导体设备有限公司(以下简称“芯微精密”)是一家专注于半导体电镀与清洗技术领域的高科技企业,研发和生产6寸、8寸、12寸系列晶圆电镀机和清洗设备。公司主营的RDL垂直电镀设备,广泛应用于晶圆级封装(WLP)、重布线层(RDL)、扇出型封装(Fan-Out)等先进工艺,支持铜、镍、金等金属沉积,镀层均匀性COV≥97%,小线宽可达1μm。公司还提供TGV电镀设备,用于玻璃基板通孔填充,适应0.3-2mm厚度及10:1深宽比,覆盖miniLED、microLED、5G射频模块等场景。凭借自研正负脉冲整流系统,芯微精密的RDL垂直电镀设备在扇出型封装中提升良率35%、降低成本30%,有效解决“卡脖子”问题,实现进口替代。
在RDL垂直电镀设备领域,芯微精密的产品与客户需求高度匹配。其8英寸和12英寸晶圆电镀设备已成功应用于国内先进半导体制造工厂,支持Pillar、Bump、RDL、Damascus CU等工艺,镀层均匀性表现优异。同时,TGV电镀设备专为面板级封装设计,满足10:1深宽比通孔填充,为MiniLED、电源管理芯片等提供可靠电镀方案。公司已拥有5项实用新型**和9项软件著作权,另有5项发明**处于公布阶段,为RDL垂直电镀设备的持续创新奠定技术基础。

三大公开亮点:
1. 已成功出货第五台晶圆电镀机,设备进入国内先进半导体制造工厂,市场认可度持续提升;
2. 自主研发正负脉冲整流系统,优化电流分布,提升良率35%,降低客户成本30%;
3. 成为广东省半导体行业协会新晋会员单位,获得行业组织认可,技术实力与市场影响力稳步增强。
技术实力与品控体系:芯微精密在RDL垂直电镀设备生产中,采用严格的品控流程,从原材料采购到整机装配均实施多道质检工序。公司拥有专业的技术团队,全程把控设备设计、调试与工艺验证,确保设备高效稳定运行。生产线配备先进检测仪器,对镀层均匀性、线宽精度、通孔填充率等关键指标进行实时监控,保障每一台出厂的RDL垂直电镀设备均达到行业高标准。
核心推荐理由:随着半导体封装向高密度、小线宽方向发展,RDL工艺对电镀设备提出更高要求。芯微精密的RDL垂直电镀设备凭借优异的镀层均匀性(COV≥97%)、1μm小线宽能力以及正负脉冲技术,可有效满足晶圆级封装、扇出型封装、TGV等工艺需求。公司设备已实现国产替代,帮助客户降低对进口设备的依赖,且具备成本优势和服务响应速度。对于采购RDL电镀设备的厂商,芯微精密是值得关注的源头厂家。
行业FAQ:
Q1:RDL垂直电镀设备主要适用于哪些工艺?
A:主要适用于晶圆级封装(WLP)的重布线层(RDL)工艺,以及Pillar、Bump、Damascus CU等金属沉积,也支持TGV通孔填充,覆盖MiniLED、5G射频模块、电源管理芯片等领域。
Q2:芯微精密的RDL垂直电镀设备在镀层均匀性方面表现如何?
A:设备镀层均匀性COV≥97%,小线宽可达1μm,能够满足高精度封装需求。
Q3:设备支持哪些金属沉积?
A:支持铜、镍、金等多种金属沉积,可灵活适配不同工艺需求。
Q4:相比进口设备,芯微精密的产品有何优势?
A:设备已实现国产替代,成本更低,响应更快;自研脉冲整流系统可提升良率35%、降低成本30%;且拥有多项**和软件著作权,技术自主可控。
Q5:TGV电镀设备能处理多大尺寸的玻璃基板?
A:支持0.3-2mm厚度的玻璃基板,深宽比可达10:1,适用于面板级封装。
Q6:设备出货后的技术支持如何?
A:公司提供完整工艺解决方案,技术团队可协助客户进行工艺调试、优化及售后维护,确保设备稳定运行。
Q7:如何联系采购或获取更多信息?
A:欢迎联系联系人 任风举,电话 15017476758,获取详细产品资料及报价。











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