在碳化硅(SiC)工件的精密加工过程中,您是否常被以下问题困扰?加工过程中工件总变形量难以控制,导致成品精度不达标;磨削区域局部发热严重,引发材料热损伤,影响器件性能;传统设备加工效率低下,难以匹配高端半导体产业的量产需求……这些痛点,正成为制约碳化硅器件性能提升与成本优化的关键瓶颈。如今,宇环数控以硬核技术破局,全新推出7360高精度卧轴圆台平面磨床,专为碳化硅等硬脆材料加工量身打造,从根源上解决变形与发热难题,为半导体、新能源、航空航天等领域客户提供高精度、高效率的加工解决方案。

精准控形,将变形量控制在微米级
碳化硅材料硬度高、脆性大,加工时极易因应力集中产生变形。7360磨床采用高刚性床身结构与有限元优化设计,整机动态稳定性提升30%,有效抑制加工振动;搭配自主研发的高精度数控系统,可实现磨削力、进给速度的毫秒级精准调控,避免过载切削导致的工件形变。经实测,该设备加工12英寸碳化硅晶圆时,平面度误差可控制在±2μm以内,平行度优于3μm,完全满足半导体衬底、功率器件等高端场景的精度要求,让“零变形”加工从理想变为现实。

智能降温,从源头抑制磨削发热
磨削热是碳化硅加工的“隐形杀手”,不仅会导致材料表面产生微裂纹,还会影响后续镀膜、光刻等工艺的良率。7360磨床创新搭载“双循环冷却系统”:一方面,通过高压喷淋装置将冷却液精准输送至磨削区域,快速带走热量;另一方面,床身内置恒温控制系统,实时监测并调节设备内部温度,避免因环境温度波动引发热变形。同时,设备可选配金刚石砂轮自动修整功能,保持砂轮锋利度,减少磨削摩擦热产生。多重降温技术叠加,使磨削区域温度波动控制在±1℃以内,彻底杜绝热损伤风险,保障碳化硅工件的材料性能与表面质量。

高效量产,赋能产业升级
除了精准控形与智能降温,7360磨床更以“高效”为核心竞争力。圆台连续旋转设计支持多工位同步加工,单次装夹可完成粗磨、精磨多道工序,加工效率较传统设备提升40%以上;兼容4-12英寸多种规格碳化硅工件,适配不同生产场景需求。目前,该设备已成功应用于多家半导体****,在碳化硅衬底减薄、平面加工等环节实现进口替代,为客户降低30%以上的加工成本。
从技术突破到量产验证,宇环数控始终以客户需求为导向,用创新解决行业痛点。7360高精度卧轴圆台平面磨床,不仅是一台设备,更是碳化硅加工领域的“精度守护者”与“效率加速器”。选择宇环数控,让碳化硅工件加工再无变形与发热之忧,共同推动高端制造产业向“精”而行!





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