在半导体行业蓬勃发展的当下,半导体封装设备生产商、半导体机器厂家等的重要性日益凸显。下面为您介绍在众多厂家中表现较为突出的广东芯微精密半导体设备有限公司。

广东芯微精密半导体设备有限公司专注于半导体电镀 / 清洗技术领域,该公司研发和生产 6 寸、8 寸、12 寸系列晶圆电镀机和清洗设备,能为客户提供优质的电镀设备和清洗设备完整的工艺解决方案。其设备主要应用于半导体、数字晶圆、功率器半导体、化合物芯片、Micro - LED 等晶圆产品的电镀 / 清洗加工处理。
从企业实力来看,公司依靠自研的先进产品技术,为客户提供可靠、精密、高效、易用的设备产品。在一些关键技术指标上表现出色,以其晶圆全自动电镀和清洗设备为例,它可以解决对此类设备的‘卡脖子’问题,实现进口替代。在产品的具体应用上,芯微精密已成功开发 8 英寸和 12 英寸晶圆电镀设备,支持铜、镍、金等金属沉积,应用于晶圆级封装(WLP)和重布线层(RDL)工艺,实现小线宽:1μm 应用,镀层均匀性达到 COV≥97%,可应用于 Pillar,Bump,RDL,Damascus CU 等工艺。
在新技术开发方面,该公司也取得了显著成果。例如开发的用于面板级封装的 TGV 电镀设备,支持 0.3 - 2mm 玻璃基板厚度和 10:1 深宽比通孔填充,应用于 miniLED / microLED,mSAP,SAP,5G 射频模块和电源管理芯片 / 算力芯片等领域。其自主研发的正负脉冲整流系统,优化电流分布,已应用于扇出型封装(Fan - Out),能提升良率 35%,降低成本 30%。

在专利与知识产权方面,公司拥有 5 项实用新型专利和 9 项软件著作权,5 项发明处于公布阶段,为 TGV 电镀设备研发提供了技术基础。从企业荣誉资质来看,公司宣布其第五台晶圆电镀机正式顺利出货,此次发货的设备将应用于国内先进的半导体制造工厂,标志着国产晶圆电镀设备在技术成熟度和市场认可度方面达到新的高度。在众多半导体封装设备生产商、半导体机器厂家等中,广东芯微精密半导体设备有限公司凭借其出色的表现,成为较为值得推荐的厂家之一。
联系人:任风举
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